ในตลาดเซมิคอนดักเตอร์ในยานยนต์และตลาด AI คาดว่าความต้องการของเซมิคอนดักเตอร์จะยังคงเติบโตอย่างต่อเนื่องทั่วโลก

เรา UNIPULSE ขอนำเสนอผลิตภัณฑ์เซนเซอร์ที่หลากหลายซึ่งสามารถนำไปใช้สำหรับกระบวนการต่างๆ ตัวอย่าง เช่น การผลิต การทดสอบ การบริการ ฯลฯ ของเซมิคอนดักเตอร์

เราขอแนะนำ PS-IA ซึ่งเป็นเซนเซอร์วัดการกระจัดแบบเก็บประจุที่ไม่สัมผัสในฉบับนี้

PS-IA เป็นเซนเซอร์วัดการกระจัดแบบไม่สัมผัสที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ ซึ่งใช้วิธีการเก็บประจุโดยเทคโนโลยีเฉพาะของ UNIPULSE มีความเสถียรและความละเอียดสูง อีกทั้งมีความสามารถรอบด้าน

โดยจะวัดระยะห่างระหว่างโลหะ (วัตถุตัวนำ) และโพรบวัดด้วยความละเอียดที่ต่ำกว่านาโนเมตร

● การวัดความหนาของแผ่นเวเฟอร์ซิลิโคน

   เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการรวมเข้ากับเครื่องจักรเนื่องจากมีโพรบวัดที่มีรูปร่างสั่งทำพิเศษ

● การวัดความเรียบของแผ่นเวเฟอร์ซิลิโคน

   วิธีการเก็บประจุเป็นวิธีที่ใช้กันมากที่สุดในการวัดความเรียบ

● การตรวจจับขอบของแผ่นเวเฟอร์ซิลิโคน

   ด้วยการสแกนพื้นผิวของเวเฟอร์แบบขนานในช่วงที่สม่าเสมอด้วยโพรบวัด

   จะสามารถตรวจจับตำแหน่งขอบของเวเฟอร์ซิลิโคนได้

● การวัดความหนาของตัวฉนวน

   สำหรับการวัดความหนาของตัวฉนวนในช่องว่างระหว่างโพรบวัดและกราวด์

   ยังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการกระจายความหนาของฟิล์มฉนวน

   โดยการรวมเข้ากับอุปกรณ์กำหนดตำแหน่ง

   และสำหรับการตรวจสอบระยะเวลาการทำความสะอาดของอุปกรณ์การเคลือบ

   ยังมีประโยชน์ในการตรวจสอบความหนาของฟิล์มฉนวนที่ไม่จำเป็นภายในห้องเคลือบ

   เช่น อุปกรณ์ PVD หรือ CVD

● การวัดค่ายินยอมสัมพัทธ์ของตัวฉนวน

   หากทราบความหนาอยู่แล้ว ก็เหมาะสำหรับการวัดค่ายินยอมสัมพัทธ์ของฟิล์มฉนวนด้วย

● เซนเซอร์ป้อนกลับของระยะการวางตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูง

   เหมาะสำหรับการวางตำแหน่งที่ต้องการความละเอียดระดับนาโน

   มีความแม่นยำและความมีเสถียรภาพที่สูง

● การวัดฟอง

   ด้วยการใช้ความแตกต่างของค่ายินยอมระหว่างของเหลวและฟอง

   ทำให้สามารถวัดส่วนหนึ่งของฟองในของเหลวได้

[ภาพการวัด]

1. สามารถตรวจจับวัตถุนำไฟฟ้าได้อย่างแน่นอน
วิธีการเก็บประจุที่ PS-IA ใช้นั้นมีความไวต่อความหยาบพื้นผิวของพื้นผิวที่วัดน้อยกว่า ด้วยวิธีการนี้ การวัดสามารถทำได้แม้กระทั่งพื้นผิวที่มีลวดลาย ซึ่งยากต่อการวัดด้วยเซนเซอร์วัดการกระจัดทางแสง
สามารถตรวจจับแผ่นเวเฟอร์ซิลิโคนได้ด้วย

สามารถใช้ตรวจจับขอบเวเฟอร์ได้เช่นกัน

2. เข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมสุญญากาศ (*สั่งทำพิเศษ)

เช่น การขึ้นรูปฟิล์มและการตัดขอบ เป็นต้น อุปกรณ์สุญญากาศถูกนำมาใช้สำหรับกระบวนการต่างๆ

โพรบวัดของ PS-IA สามารถสร้างโดยมีการปล่อยก๊าซออกน้อยลงสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศตามคำสั่งซื้อทำพิเศษ

3. เข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง (*สั่งทำพิเศษ)

ที่ขั้นตอนการออกซิเดชั่นของพื้นผิวเวเฟอร์หรือที่ขั้นตอนการขึ้นรูปฟิล์มของฟิล์มบาง ภายในเครื่องจักรการผลิตกลายเป็นที่มีอุณหภูมิสูง

PS-IA สามารถเข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงได้ตามคำสั่งซื้อทำพิเศษ

4.  รูปร่างโพรบวัดที่ปรับแต่งได้ (*สั่งทำพิเศษ)

โพรบวัดเซนเซอร์ของ PS-IA สามารถปรับแต่งได้ขึ้นอยู่กับการใช้งาน

สามารถผลิตหัววัดเซนเซอร์แบบที่เกือบมองไม่ออกซึ่งง่ายต่อการรวมเข้ากับเครื่องจักรเซมิคอนดักเตอร์ได้เช่นกัน

ด้วยโพรบวัดสองด้าน จึงสามารถวัดและจัดการช่องว่างเล็กๆ ในเชิงปริมาณได้ PS-IA สามารถใช้สำหรับการวัดช่องว่างและการจัดการของขั้วไฟฟ้าแบบแผ่นเรียบ

ตัวอย่างโพรบวัดแบบสั่งทำพิเศษบางส่วน:

5. การตรวจจับตำแหน่งที่มั่นคงเนื่องจากมีความเสถียรสูงและสัญญาณรบกวนต่ำ
การตรวจจับตำแหน่งที่มั่นคงสามารถทำได้โดยมีค่าความเป็นเชิงเส้นสูง ±0.05% หรือน้อยกว่า ตลอดจนสัญญาณรบกวนที่ต่ำ 0.002%FS (rms) หรือน้อยกว่า

6. คุณภาพที่ผลิตในญี่ปุ่นที่เชื่อถือได้

PS-IA เป็นผลิตภัณฑ์ที่ผลิตในญี่ปุ่นซึ่งมีคุณภาพผลิตภัณฑ์ที่มั่นคง