近幾年,隨著半導體市場不斷增長,半導體行業對於許多種類的感測器需求不斷增加。
用於測量力和重量的感測器—測力感測器便是其中之一。
矽樹脂是製造測力感測器時不可或缺的材料。矽樹脂具有良好的耐熱性、絕緣性和耐候性,因此得到廣泛應用。在製造測力感測器時,矽樹脂可用於電纜線、防潮塗層、固定導線和防振。
然而,在近來蓬勃發展的半導體製造領域中,這些矽樹脂釋放出的氣體矽氧烷卻引發了各種問題。通俗地說,矽氧烷是一種由矽原子與氧原子結合而成的聚合物,是一種極其穩定的物質。
如果矽氧烷被吸附在電氣觸點上,就會造成接觸故障。此外,如果矽氧烷還吸附在了半導體曝光設備的透鏡或矽晶片表面,則會大幅降低良品率。
因此,在半導體生產中使用不產生矽氧烷的設備至關重要。
UWR是一種橫梁式測力感測器。經分析確認幾乎未檢測到矽氧烷氣體,因此您可以放心使用。該感測器的容量為10 N,精度為 0.03%,固有頻率為2.5kHz,可以以較高的精度和較快的速度觀察小容量。
可用於多種用途。
因為我們公司自己生產傳感器所需的應變發生體和應變片,所以可以承接製造小批量、客製化感測器的訂單。
我們可以根據您的需求,更改感測器的容量、形狀、尺寸,擴大其工作溫度範圍,製造不容易釋放矽氧烷的版本等。如需了解更多信息,請聯係我們。
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