預計未來全球對半導體的需求將不斷增加，例如汽車半導體和人工智能市場等。

Unipulse提供多種感測器產品，可在半導體製造、檢驗、服務等各種工藝中使用。

軸式扭矩檢測的標準，旋轉式扭矩感測器UTM系列的新型號“UTMIII”，在半導體製造、檢查的現場應用實例也有很多！

在半導體製造工序的硅晶圓的加工和檢查等過程中，都要求要達到微米級的精密定位。保持晶片的精密XY平台採用滾珠絲杠，可以實現高速且高精度的定位。

在半導體製造的制膜和研磨等設備中，由於設備內部的沉澱物和不需要的膜的堆積，有時會對內部的驅動設備施加過大的力，或者精度下降。如果用UTMIII監測驅動馬達的扭矩，就可以根據扭矩的上升趨勢，提前知道設備保養的時間點，可以有計劃的安排設備保養，還可以減少生產線的停線時間。

UTMIII系列是一款適用於需要高精度扭矩檢測的旋轉扭矩感測器。最小容量是0.05Nm，細微扭矩值都可以正確檢測和評價。

具有高響應性、高精度、高剛性的同時，受徑向力、軸向力、高速旋轉時的精度的影響都很小，而且又是小巧型的設計，容易組裝到機械設備中。

另外可以用於以下的工藝。

• 可以檢測出硅晶圓研磨加工時的砂輪的堵塞。
  可以把握合適的加工時間。
• 通過切割加工的扭矩管理，防止刀片的破損或工件的碎屑等不良。
• 在組裝工藝中對擰緊扭矩的管理。

Unipulse的位移感測器、力感測器、扭矩感測器等多種傳感器產品可以在半導體製造、檢查、服務等各種工藝中使用。

也可以借用樣機。請隨時聯繫我司銷售人員。