Seperti pasar semikonduktor otomotif dan pasar AI, diantisipasi bahwa permintaan semikonduktor akan terus tumbuh di seluruh dunia.

Kami, UNIPULSE, menawarkan berbagai macam produk sensor yang dapat digunakan untuk berbagai proses seperti manufaktur, pengujian, perawatan, dan lain-lain dalam industri semikonduktor.

Di antara sekian banyak sensor tersebut, kami memperkenalkan “PS-IA”, sensor perpindahan kapasitif non-kontak dalam edisi ini.

PS-IA adalah sensor perpindahan non-kontak ultra-presisi yang menggunakan metode kapasitif dengan teknologi yang unik dari UNIPULSE, dan telah mencapai stabilitas tinggi, resolusi tinggi, dan keserbagunaan.

Alat ini mengukur jarak antara logam (benda penghantar) dan probe pengukuran dengan resolusi subnanometer.

● Pengukuran ketebalan wafer silikon

   Ideal untuk dimasukkan ke dalam mesin karena probe dengan bentuk yang dibuat khusus

● Pengukuran kerataan wafer silikon

   Metode kapasitif adalah metode yang paling umum digunakan untuk pengukuran kerataan.

● Deteksi tepi wafer silikon

   Dengan memindai permukaan wafer secara paralel secara berkala dengan probe pengukuran, posisi tepi wafer silikon terdeteksi.

● Pengukuran ketebalan film atau lapisan isolasi

   Untuk pengukuran ketebalan film atau lapisan isolasi pada celah antara probe pengukuran dan GND.

   Juga ideal untuk distribusi ketebalan lapisan film isolasi dengan menggabungkannya dengan peralatan pemosisian, dan untuk memeriksa waktu pembersihan peralatan pelapis.

   Ini juga berguna untuk memantau ketebalan film isolasi yang tidak perlu di dalam ruang pelapisan, seperti peralatan PVD atau CVD.

● Pengukuran permitivitas relatif dari badan isolasi

   Jika ketebalan sudah diketahui, alat ini juga cocok untuk pengukuran permitivitas relatif film isolasi

● Sensor umpan balik dari tahap pemosisian ultra-presisi

   Ideal untuk pemosisian yang membutuhkan resolusi tingkat nano, presisi tinggi, dan stabilitas tinggi

● Pengukuran gelembung

   Dengan menggunakan perbedaan permitivitas antara cairan dan gelembung, fraksi gelembung dalam cairan dapat diukur.

[Gambar pengukuran]

1. Badan penghantar dapat dideteksi dengan pasti
Metode kapasitif yang digunakan PS-IA tidak terlalu rentan terhadap kekasaran permukaan pada permukaan yang diukur. Dengan metode ini, pengukuran dapat dilakukan bahkan pada permukaan yang berpola, yang sulit diukur dengan sensor perpindahan optik.
Wafer silikon juga dapat dideteksi. Ini juga dapat digunakan untuk mendeteksi tepi wafer.

2. Kompatibel dengan lingkungan vakum (*Pesanan khusus)

Such as film-forming and edging etc., vacuum equipment is used for various processes. The probe of PS-IA can be made with less outgas generation for vacuum environment by a custom-order.

3. Kompatibel dengan lingkungan bersuhu tinggi (*Pesanan khusus)

Pada langkah oksidasi permukaan wafer atau langkah pembentukan film tipis, bagian dalam mesin manufaktur menjadi kondisi suhu tinggi.

PS-IA dapat kompatibel dengan lingkungan bersuhu tinggi dengan pesanan khusus.

4. Bentuk probe yang dapat disesuaikan (*Pesanan khusus)

Probe sensor PS-IA dapat disesuaikan, tergantung pada aplikasinya. Probe sensor profil rendah yang mudah disatukan ke dalam mesin semikonduktor, juga dapat diproduksi. Dengan probe dua sisi, celah kecil dapat diukur dan dikelola secara kuantitatif.  PS-IA dapat digunakan untuk pengukuran celah dan manajemen elektroda pelat datar. 

Beberapa contoh probe yang dibuat khusus:

5. Deteksi posisi yang stabil karena stabilitas tinggi & kebisingan yang rendah
Deteksi posisi yang stabil dimungkinkan dengan linearitas tinggi ± 0,05% atau kurang serta noise rendah 0,002%FS (rms) atau kurang.

6. Kualitas buatan Jepang yang dapat diandalkan

PS-IA adalah produk buatan Jepang dengan kualitas produk yang stabil.