Nhu cầu về chất bán dẫn, bao gồm thị trường bán dẫn ở ô tô và thị trường AI, dự kiến sẽ tiếp tục tăng trên toàn thế giới.

Unipulse cung cấp nhiều sản phẩm cảm biến có thể được sử dụng trong nhiều quy trình khác nhau của chất bán dẫn như sản xuất, kiểm tra và dịch vụ.

Trong số đó, lần này chúng tôi sẽ giới thiệu máy cảm biến đo hành trình không tiếp xúc dạng điện dung 「PS-IA」.

PS-IA là máy đo cảm biến đo hành trình không tiếp xúc dạng điện dung có độ chính xác cực cao sử dụng phương pháp điện dung dựa trên công nghệ độc đáo của Unipulse để có được độ ổn định cao, độ phân giải cao và tính linh hoạt.

Đo khoảng cách giữa phần kim loại (dây bán dẫn) và đầu đo lường với độ phân giải dưới nanomet.

● Đo độ dày wafer silicon

   Đầu dò có hình dạng tùy chỉnh đặc biệt lý tưởng để tích hợp vào thiết bị

● Đo độ phẳng của wafer silicon

   Phương pháp điện dung là phương pháp được sử dụng phổ biến nhất để đo độ phẳng.

● Phát hiện cạnh của wafer silicon

   Phát hiện vị trí cạnh của tấm silicon bằng cách quét đầu dò đo song song với bề mặt tấm silicon với khoảng cách không đổi

● Đo độ dày của vật liệu cách điện

   Dùng để đo độ dày của lớp cách điện giữa đầu dò và GND.

  Kết hợp với thiết bị định vị để đo độ dày của lớp cách điện và xác định thời điểm làm sạch thiết bị mạ. Nó cũng tiện ích để theo dõi độ dày của lớp cách điện không cần thiết ở bên trong buồng phủ như thiết bị PVD và CVD.

● Đo hằng số điện môi của vật liệu cách điện

   Nếu biết độ dày, cũng có thể đo hằng số điện môi của lớp cách điện.

● Cảm biến phản hồi của bệ định vị siêu chính xác

   Đáp ứng nhu cầu định vị với độ phân giải nano và độ chính xác cao cũng như độ ổn định cao.

● Đo khoảng cách của stator motor
   Phương pháp đo điện dung không bị ảnh hưởng bởi sự cảm ứng điện từ, do đó có thể đo khe hở, vị trí và dao động trong môi trường từ trường cao.

● Đo lường bọt khí

   Đo lường tỷ lệ bọt khí trong chất lỏng dựa trên sự khác biệt về hằng số điện môi giữa chất lỏng và bọt khí.

[Hình ảnh đo lường]

1. Chất bán dẫn có thể được phát hiện một cách chính xác
PS-IA sử dụng phương pháp dung tích điện tĩnh, không bị ảnh hưởng bởi độ xù xì của bề mặt đo, và có thể đo trên bề mặt đã được phủ mạ, mà thậm chí cả các bề mặt có hoa văn.
PS-IA cũng có thể phát hiện trên tấm wafer silicon. Cũng có thể sử dụng để phát hiện cạnh wafer.

2. Cũng tương thích với môi trường chân không (*Đơn hàng đặc biệt)

Chân không được sử dụng trong nhiều quy trình như làm màng phủ, etsching và các quy trình khác. PS-IA của các đầu dò cũng ít bốc hơi, và cũng có thể được tùy chỉnh để phù hợp với môi trường chân không.

3. Có thể tương thích trong môi trường nhiệt độ cao (*Đơn hàng đặc biệt)

Trong quá trình oxy hóa bề mặt wafer hoặc quá trình phủ màng mỏng (CVD), nhiệt độ trong thiết bị sản xuất sẽ cao.

PS-IA có thể được tùy chỉnh để hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao.

4. Có thể tùy chỉnh theo yêu cầu về hình dáng của đầu dò (*Đơn hàng đặc biệt)

Cảm biến của PS-IA có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu để phù hợp với các ứng dụng cụ thể. Cũng có thể sản xuất các cảm biến siêu mỏng dễ dàng tích hợp vào thiết bị bán dẫn. Nếu bạn sử dụng đầu dò hai mặt, bạn có thể đo lường và quản lý lượng rãnh nhỏ một cách định lượng, phù hợp để đo lường và quản lý khoảng cách giữa các điện cực phẳng. 

Một ví dụ về cảm biến được thiết kế lại:

5. Khả năng ổn định cao và ít nhiễu giúp việc phát hiện vị trí ổn định
Đạt được việc phát hiện vị trí ổn định với độ dung sai dưới ±0.05% và ít nhiễu dưới 0.002%FS (rms).

6. An tâm với sản phẩm được sản xuất tại Nhật Bản.

PS-IA được sản xuất tại Nhật Bản với chất lượng ổn định.