Revitalisasi industri semikonduktor baru-baru ini telah meningkatkan permintaan akan berbagai jenis sensor.

Load cell, sensor yang mengukur gaya dan berat, adalah salah satunya.

Resin silikon adalah bahan yang penting dalam pembuatan load cell. Resin silikon digunakan dalam berbagai aplikasi karena tahan panas (heat resistance), insulation, dan ketahanan cuacanya yang baik (weather resistance). Pada load cell, resin silikon digunakan untuk pelapisan kabel dan anti-lembab (moisture-proof), pengikatan kawat (fixing of wires), serta isolasi getaran (vibration isolation)..

Namun, dalam bidang manufaktur semikonduktor yang baru-baru ini berkembang pesat, siloksan, gas yang dihasilkan dari resin silikon ini, menyebabkan berbagai masalah. Secara sederhana, siloksan adalah polimer yang terdiri dari atom silikon yang terikat pada oksigen dan merupakan zat yang sangat stabil.

Ketika ini melekat pada kontak listrik dan menempel, ini menyebabkan kegagalan kontak. Selain itu, adsorpsi pada lensa peralatan litografi semikonduktor atau pada permukaan wafer silikon dapat sangat mengurangi tingkat hasil produksi.

Untuk alasan-alasan ini, peralatan yang tidak menghasilkan siloksan sangat penting untuk situs manufaktur semikonduktor.

UWR adalah load cell tipe beam. Analisis telah mengkonfirmasi bahwa tidak ada gas siloksan yang terdeteksi, jadi Anda bisa menggunakan produk ini tanpa kekhawatiran. Dengan kapasitas 10 N, akurasi 0,03 %, dan frekuensi alami 2,5 kHz, kapasitas kecil dapat diukur dengan akurasi dan kecepatan tinggi.

• Manajemen gripping force pada robot transfer wafer.
• Manajemen tekanan dorong selama wafer polishing.
• Kontrol beban dari pemasang chip (chip mounters).
• Kontrol tekanan selama pengeboran kawat (wire bonding)

Selain dari yang disebutkan di atas, ini dapat digunakan untuk berbagai aplikasi.

Load cell Unipulse dapat dipesan sesuai kebutuhan dalam jumlah kecil karena kami memproduksi pegas (springs) dan strain gages di dalam perusahaan!

Kami dapat menyediakan perubahan kapasitas, bentuk khusus, perubahan ukuran, perluasan rentang suhu operasi, bebas siloksan, dan lain sebagainya. Jangan ragu untuk menghubungi kami.