Nhu cầu về nhiều loại cảm biến ngày càng tăng khi ngành công nghiệp bán dẫn trở nên sôi động hơn trong những năm gần đây.

Một ví dụ như là loadcell, một cảm biến đo lực và trọng lượng.

Nhựa silicon là nguyên liệu cần thiết để sản xuất loadcell. Nhựa silicon có khả năng chịu nhiệt, cách nhiệt, chịu thời tiết tốt nên được ứng dụng rất đa dạng. Nhựa silicon được sử dụng trong loadcell cho các mục đích như dây cáp và chống ẩm, cố định dây và chống rung.

Tuy nhiên, trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn đang bùng nổ gần đây, khí siloxan sinh ra từ các loại nhựa silicon này gây ra nhiều vấn đề. Nói một cách đơn giản, siloxane là một loại polymer được tạo thành từ các nguyên tử silicon và oxy và đây là một chất cực kỳ ổn định.

Nếu phần này dính vào các tiếp điểm điện và dính vào đó, nó sẽ gây ra lỗi tiếp xúc. Ngoài ra, nếu nó được hấp phụ vào thấu kính của thiết bị chế tạo bản bán dẫn hoặc bề mặt của tấm silicon tinh thể, nó sẽ làm giảm hiệu suất đáng kể.

Vì những lý do này, thiết bị không phát ra siloxane là cần thiết tại các nhà máy sản xuất chất bán dẫn.

UWR là một loại loadcell dạng thanh. Với sự phân tích tại công ty chúng tôi, xin được xác nhận rằng không phát hiện thấy khí siloxane từ loadcell , vì vậy có thể yên tâm sử dụng sản phẩm của chúng tôi. Với dung lượng 10N, độ chính xác 0,03% và tần số dao động 2,5 kHz, các dung lượng nhỏ có thể xem với độ chính xác cao và tốc độ nhanh.

• Quản lý lực kẹp cho robot vận chuyển chất wafer
• Quản lý áp suất ép trong quá trình đánh bóng wafer
• Kiểm soát tải của máy gắn chip
• Quản lý áp suất ép trong quá trình liên kết dây

Nó có thể được sử dụng cho nhiều mục đích khác nhau.

Loadcell được sản xuất bởi Unipulse có phần thân co dãn và cảm biến đo độ căng, vì vậy chúng tôi có thể nhận các đơn đặt hàng đặc biệt từ số lượng nhỏ!

Có thể thay đổi dung lượng, hình dạng đặc biệt, kích thước, mở rộng phạm vi nhiệt độ hoạt động hoặc chế tạo không có siloxane. Xin đừng ngần liên lạc với chúng tôi.