자동차 관련 반도체 시장이나 AI 시장등, 반도체의 수요는 앞으로도 전세계에서 증가할 것으로 예측되고 있습니다.

UNIPULSE 에서는 반도체 제조·검사·서비스 등 다양한 공정에서 활용할 수 있는 다양한 센서 제품을 준비하고 있습니다.

샤프트형 토크 계측의 표준, 회전 토크 미터 UTM 시리즈의 최신 모델 'UTMIII'도 반도체 제조 공정에 도입한 사례가 많이 있습니다.

반도체 제조 공정의 실리콘 웨이퍼의 가공이나 검사 프로세스 등에 있어서는, 웨이퍼의 마이크론 단위로의 초정밀한 위치 결정이 요구됩니다. 웨이퍼를 유지하는 정밀 XY 스테이지에는 볼 나사가 채용되어 고속 및 고정밀 위치 결정이 가능합니다.

반도체 제조 장치의 성막 장치나 연마 장치 등에서, 장치 내의 침전물이나 불필요한 막의 축적에 의해서, 장치 내 구동 장치에 과대한 힘이 걸리거나 정밀도가 저하되거나 하는 경우가 있습니다.

UTMIII로 구동모터의 토크를 모니터 해 두면 토크의 상승 추세로부터 사전에 유지보수 타이밍을 알 수 있고, 계획적으로 유지보수를 실시할 수 있으며, 또한 라인의 다운타임을 최소화할 수 있습니다.

UTMIII 시리즈는 그러한 고정밀 토크 계측이 필요한 애플리케이션에 적합한 회전 토크미터입니다. 최저 용량이 0.05Nm로 작아 미세한 토크까지 정확하게 측정하고 평가할 수 있습니다.

동시에 고응답성, 고정밀, 고강성이면서 레이디얼 하중, 스러스트 하중, 고속 회전 시의 정밀도에 미치는 영향에 강하며, 또한 소형 설계를 위해 기계 장치에 쉽게 장착할 수 있습니다.

또, 이하와 같은 공정에 사용하실 수 있습니다.

• 실리콘웨이퍼 연삭가공 시 숫돌의 막힘을 검지가능.
  적절한 드레싱 타이밍을 파악할 수 있습니다.
• 다이싱 가공의 토크 관리로 블레이드 파손이나 워크의 칩핑 등의 불량을 방지
• 조립 공정에서의 조임 토크 관리

UNIPULSE 변위계, 로드셀, 토크미터 등의 각종 센서 제품은 반도체 제조, 검사, 서비스 등의 다양한 공정에서 사용하실 수 있습니다.

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