자동차 관련 반도체 시장이나 AI 시장등, 반도체의 수요는 앞으로도 전세계에서 증가할 것으로 예측되고 있습니다.

UNIPULSE 에서는 반도체 제조·검사·서비스 등 다양한 공정에서 활용할 수 있는 다양한 센서 제품을 준비하고 있습니다.

이번에는 그 중에서, 실록산 가스를 발생시키지 않는 빔형 로드셀 「UWR」을 소개합니다.

UWR은 빔형 로드셀 입니다. 용량은 10N, 정밀도는 0.03%, 고유진동수가 2.5kHz로 작은 힘을 고정밀도, 고속으로 측정할 수 있습니다.

반도체 제조 분야에서 필수 요건인 「실록산 프리(실록산 가스를 발생시키지 않음)」로드셀 입니다.

실리콘 수지에서 발생하는 실록산 가스는 반도체 제조 공정에서 다양한 장애를 일으킵니다. 내열성이나 절연성, 내후성이 뛰어난 실리콘 수지는 로드셀 제조에 필수적인 재료이지만, 반도체 제조 현장에서는 실록산 가스를 발생하지 않는 기기를 선정할 필요가 있습니다.

UWR은 분석결과 실록산 가스가 검출되지 않는 것으로 확인되어, 반도체 제조 장비 내에서도 안심하고 사용할 수 있습니다.

• 웨이퍼 이송로봇의 파지력 관리
• 웨이퍼 연마 과정의 압력 관리
• 칩 마운터의 하중 제어
• 와이어 본딩시 가압력 관리

유니펄스 로드셀은 본체와 스트레인 게이지를 자체 제작하며, 특정 용도에 맞춘 주문도 받고 있습니다.

반도체 제조 공정용으로「고온」・「진공」・「실록산 프리」의 맞춤형 제품 제작도 가능합니다! 부담없이 상담해 주세요.