최근 반도체 산업이 활성화되면서 많은 센서에 대한 수요가 증가하고 있습니다.
힘과 무게를 측정하는 센서, 로드셀도 그 중 하나입니다.
로드셀 제조에 필수적인 재료로 실리콘 수지가 있습니다. 실리콘 수지는 내열성, 절연성, 내후성이 우수하여 다양한 용도로 사용되고 있습니다. 로드셀에서는 케이블이나 방습코팅, 선재의 고정, 방진 등의 목적으로 실리콘 수지를 사용합니다.
그런데 최근 각광받고 있는 반도체 제조 분야에서는 이러한 실리콘 수지에서 발생하는 실록산이라는 가스가 여러가지 장애를 일으킵니다. 실록산은 쉽게 말해 실리콘 원자와 산소가 결합된 폴리머로 매우 안정적인 물질입니다.
이것이 전기 접점에 흡착되어 고착되면 접점 불량을 유발합니다. 또한, 반도체 노광 장비의 렌즈나 실리콘 웨이퍼 표면에 흡착되면 수율을 크게 저하시킵니다.
이러한 이유로 반도체 제조 현장에서는 실록산을 발생시키지 않는 장비가 필수적으로 요구되고 있습니다.
실록산 프리 로드셀 「UWR」로 해결!
UWR은 빔형 로드셀 입니다. 분석 결과 실록산 가스가 검출되지 않는 것으로 확인되어 안심하고 사용하실수 있습니다. 용량은 10N, 정밀도는 0.03%, 고유진동수가 2.5kHz로 작은 용량을 높은 정밀도와 빠른 속도로 볼 수 있습니다.
- 웨이퍼 이송로봇의 파지력 관리
- 웨이퍼 연마시 가압력 관리
- 칩 마운터의 하중 제어
- 와이어 본딩시 가압력 관리
등 다양한 용도로 사용할 수 있습니다.
UNIPULSE 로드셀은 본체와 스트레인 게이지를 자체 제작하고 있기 때문에 소량 주문도 가능합니다!
용량의 변경・특수형상・사이즈변경・동작 온도범위의 확장・실록산 프리화 등이 가능합니다. 꼭 상담해 주세요.
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